深紫外主要用于研究超薄膜、表面粗糙度，并可研究温度、应力、张力、掺杂、组份、晶态等对材料禁带宽度的影响；深紫外也可研究AlGaN, AlN等宽禁带材料，测量膜厚0-10nm。可见光可测量折射率梯度。近红外使用FTIR，测量时间短（全光谱、多角度测量可在10分钟内完成），具有自
