迄今为止*简单易用的椭偏仪
? SE 500adv结合椭偏测量和反射测量
? 可**椭偏测量对透明膜厚度的周期不确定性
? 膜厚测量范围可扩展**25000 nm.
? 激光波长632.8 nm
? 反射计光谱范围450 nm-920 nm
? 光斑直径80 μm
? 150 mm (z-tilt)样品台
? 角度计，可变入射角度，步进5°
? LAN连接电脑
CER组合椭偏仪SE 500advanced可作为激光椭偏仪，CER组合式椭偏仪或反射膜厚仪FTPadvanced操作。比常规激光椭偏仪有更好的适应性。
作为椭偏仪操作
单角度和多角度测量，可测量*多三层膜的厚度和光学参数，测量波长632.8nm，有*高的测量精度。
作为反射式膜厚仪FTPadvanced操作
白光正入射测量，可测量透明膜或弱吸收薄膜，厚度*大可达25μm。配置更先进的软件FTPexpert后能够测量多层膜。
作为CER组合椭偏仪操作
解决了透明膜的周期不确定性问题，并由于确定的膜厚周期，折射率测量精度显著增加。可测量透明膜的Cauchy系数。
