可测量大尺寸材料、单层与多层膜、界面、超薄膜与厚膜的厚度与光学参数。SE850DUV特别适用于高要求的研发应用，例如测量玻璃上的薄透明膜、有机发光体、多层半导体材料复合膜、窗玻璃上的低e镀层、*新微电子应用如SOI、高k和低k材料，也能分析各向异性和非均匀性样品。
