| 光谱范围 | 250 nm ... 900 nm |
| 测量时间 | 单点测量时间40 μs, 全光谱测量时间20 ms |
| 可变入射角度 | 45, 50, 55, 60, 65, 70, 90 deg |
| 载物台 | 可调节高度和倾斜度的载物台，手动25 mm x-y 方向移动 |
| 光源 | Xe弧光灯 |
| 分光计 | 扫描式单色仪 |
| 软件 | 光谱椭偏仪软件，支持测量、建模、拟合椭偏光谱，材料库，protocol功能，输出数据 |
| 计算机 | USB 接口连接 PC，包含PC、WindowsXP操作系统 |
| 电源需求 | 115/ 230 V, 50 / 60 Hz |
| 尺寸 | 850 mm x 400 mm x 300 mm |
| 重量 | 35 kg |
