性能和特点:
该仪器采用白光轴向色差原理(性能优于白光干涉轮廓仪与激光干涉轮廓仪)对样品表面进行快速、重复性高、高分辨率的三维测量,测量范围可从纳米级粗糙度到毫米级的表面形貌,台阶高度,给MEMS、半导体材料、太阳能电池、医疗工程、制药、生物材料,光学元件、陶瓷和先进材料的研发和生产提供了一个精确的、价格合理的计量方案
1 采用白光轴向色像差技术,可获得纳米级的分辨率
2 测量具有非破坏性,测量速度快,精确度高
3 测量范围广,可测透明、金属材料,半透明、高漫反射,低反射率、抛光、粗糙材料(金属、玻璃、木头、合成材料、光学材料、塑料、涂层、涂料、漆、纸、皮肤、头发、牙齿…);
4 尤其适合测量高坡度高曲折度的材料表面
5 不受样品反射率的影响
6 不受环境光的影响
7 测量简单,样品无需特殊处理
8 Z方向*大测量范围为27mm
技术参数:
垂直测量范围:27mm
垂直分辨率:<2nm
扫描速度 1m/s
横向分辨率:5nm
测量范围: 400*600mm
