性能和特点:
该仪器采用白光轴向色差原理(性能优于白光干涉轮廓仪与激光干涉轮廓仪)对样品表面进行快速、重复性高、高分辨率的三维测量,测量范围可从纳米级粗糙度到毫米级的表面形貌,台阶高度,给MEMS、半导体材料、太阳能电池、膜厚、光学元件、陶瓷和先进材料的研发和生产提供了一个精确的、价格合理的计量方案。
这款产品凭借其当今***前端的技术,迅速占领国内外市场,我们致力于为国内外的研发机构与工业用户提供全套的测试技术解决方案,功能包括二维分析、三维分析、表面纹理分析、粗糙度分析、波度分析、PSD分析、体积、角度计算、曲率计算、模拟一维分析、数据输出、数据自动动态存储、自定义数据显示格式等。
超高的扫描速度:可达1m/s
数据采集频率:可达31KHz
能保证超高平整度和稳定性(花岗石平台)
**的闭合外形设计
*大可扫描1m*1m的区域
采用NANOVEA PRVision软件实现自动定位测量
用于替代探针式轮廓仪和激光轮廓仪
采用白光轴向色像差技术,可获得纳米级的垂直分辨率
测量具有非破坏性,测量速度快,精确度高
测量范围广,可测透明、半透明、低反射率、抛光、粗糙材料(金属、玻璃、木头、合成材料、光学材料、塑料、涂层、涂料、漆、纸、皮肤、头发、牙齿…)
不受环境光的影响
不受样品反射率的影响
适合测量高坡度(85o)的表面
样品无需特殊处理
Z方向*大测量范围为27mm
技术参数:
垂直测量范围:27mm
垂直分辨率:2nm
X-Y扫描速度:1m/s
横向X-Y轴分辨率:5nm
扫描范围(XYZ):400*600*50mm
