性能和特点：
采用主动参比技术，极大降低 了热漂移；
(400 °C下，小于 10 nm/min )
独特的材料设计，无热膨胀；
两套独立的载荷位移传感器；
采用热量反射屏蔽罩设计及压痕测量水循环冷却系统；
高的框架刚度 (大于 10 8 N/m）；
集成真空腔，允许测试样品的真空度可达到5 x 10 -7 mbar。
HT-UNHT超纳米压痕仪可选择两种不同范围的加热平台。
载荷范围 *大100 mN
载荷分辨率 0.001uN
加载速率 *大10’000 mN/min
保载时间 无限制
*大位移 100um
位移分辨率 0.0003 nm
400°C加热台
加热速度: 0.1°C/min 到 90°C/min
温度稳定性 : 小于0.1°C
样品尺寸: 25 mm圆盘
200°C加热台
加热速度: 0.1°C/min 到 90°C/min
温度稳定性 : 小于0.1°C
样品尺寸: 25 mm x 50 mm
