性能和特点:
(1)**的台阶再现性与线性度。
(2)超高真直度,可确保量测图形不受任何影响,并可在真直度的保证下进行长距离测量。
(3)采用超低噪音直动式 LVDT,超低测定力的触针可任意调节。
(4)配备高分辨率的 CCD 即时进行高精度定位测量。
(5)可对应各种国际规范,测定参数多达 60 多种。
(6)适用于各种与纳米材料有关的MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器件、薄膜/化学涂层以及平板显示等。
技术参数:
一、测定工件:
1. *大工件尺寸:φ160mm
2. *大工件厚度:50mm
3. *大工件重量:2kg
二、检出器(pick up):
1. Z方向测定范围:Max. 600μm
2. Z方向分解能:0.1nm
3. 测定力:10μN to 500μN
4. 触针半径:2 μm
5. 驱动方式:直动式
6. 再现性:1σ= 1nm
三、X 轴 (基准轴):
1. 移动量(*大测长):100mm
2. 移动的真直度:0.2μm/100mm
3. 移动,测定速度:0.02一、测定工件:
1. *大工件尺寸 210 × 210 mm to 300 × 400 mm
2. *大工件厚度 50mm
3. *大工件重量 2kg
二、检出器(pick up):
1. Z 方向测定范围 Max. 100μm
2. Z 方向分解能 0.1nm
3. 测定力 0.5 μN to 500 μN
4. 触针半径 0.5 , 2 μm
5. 驱动方式 直动式
三、X 轴 (基准轴):
1. 移动量(*大测长) 100mm
2. 移动的真直度 0.005μm/5mm
3. 测定速度 0.005 ~ 2mm/S
4. 位置定位时速度 Max. 10mm/S
5. 线性尺(linar scale) 分解能 0.01μm
6. 位置定位再现性 ± 5μm
7. 滑轨 材质为在铸铁(CD-5)上,镀上硬质 Cr,无润滑(于移动台侧,使用铁弗龙折动材料)
8. 驱动 DC motor + Dynamic belt
四、Y 轴(位置决定用):
1. 移动量 52mm
2. 移动速度 max.3mm/S
3. 滑轨 Crose roller 滑轨
4. 驱动 DC motor + 滚珠螺杆(P=2mm)
5. 检出器自动停止机能
五、工件台:
1. 工件台尺寸 210mm×210mm
2. 自动倾斜量 X: ± 1mm/150mm Y: ± 1mm/186mm
3. 分解能 0.25μm
4. 驱动 pulse motor
六、全自动量测功能
七、工件观察 max. 80倍(可选购其它高倍率 CCD)
八、床台 材质为花岗岩石
九、段差测定再现性 1δ, **°以内
十、防振台(选购) 落地型或桌上型
十一、电源 AC100V±10%,50/60HZ,800VA
十二、本体外观尺寸 W660×D580×H660mm(不含防震台)
