XP-703DIII (自动吸引式)
半导体特气检漏仪
特点：
*适合于检测半导体特气的微量泄漏。
采用声光报警。
规格
型 号 XP-703DIII
检测对象气体 半导体材料气体(胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等)
检测原理 热线型半导体式
采样方式 自动吸引式
检测气体名称：砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氢气
AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2
可检测*小浓度
(单位：ppm)0.2 0.3 0.1 0.5 1.0
检测表示 蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁
应答速度 10秒以内
尺寸W38×H130×D30mm
重量190克
