主要特点:
高分辨观察
利用金颗粒保证0.144nm分辨率DF-STEM像（标准型）。
大束流分析
约为非校正的STEM探针电流的10倍，可以进行高速、高灵敏度能谱分析，可以在更短的时间内获得元素的面分布图，使得检测微量元素成为可能。
简化的操作
提供了专用的GUI自动调节球差校正器
整体的解决方案
样品杆与FIB兼容，提供了纳米尺度的整体解决方案，从制样到数据获得和*终分析
多种评价和分析功能可选
可同时获得和显示SE&BF、SE&DF、BF&DF、DF/EDX和DF/EELS像；可以配备ELV-2000型实时元素Mapping系统(DF-STEM像可以同时获得)；可以同时观察DF-STEM像和衍射像；可以配备超微柱头样品杆进行三维分析(360度旋转)等。
