准确成像，无交叉耦合误差
业界**的XYZ轴线性度，样品和探针分别由独立的闭环扫描器控制
业内*低的平面偏移度，全扫描范围水平线性误差小于1nm
垂直扫描器全程伸缩线性度由于0.015%
优化了水平扫描器的ring-ring现象，精准的正向sine-scan算法
准确扫描，真正的非接触模式
Z轴伺服带宽超过9kHz，响应速度大于62mm/s
非接触模式下*快的扫描速度
极低的探针磨损，保证了长时间高质量扫描
极低的样品损伤
准确测量，真正的样品形貌
业内**的低噪音检测器
业内**的正反测量偏离量，小于0.15%
优化的散热部件，极大降低了系统热偏移
功能强大的隔音罩，舱体内部主动控温
提高用户工作效率
开放式样品空间，样品及探针更换极为方便
预对准探针安装与同轴光路设计方便激光调整
**的十秒进针功能，探针高速自动完成进针
24为数字电控箱，3路内置锁相放大器，具备Q-Control和弹性系数校正功能
