技术参数
原理 PCSA配置的自动回零（Auto-Nulling）图像椭圆光度法
椭圆光度分辨率 Delta/Psi精度 0.001 deg **精度 0.01 deg（依赖于样品与测量条件）
立体分辨率 1~35μm（平面解析精度：1μm，纵向解析精度：1 nm）
激光器波长 标准为: 532 nm 可选405, 488, 514, 543, 594, 633, 650, 690, 785, 830, 905, nm
灵敏度 0.05~0.2nm
解析时间 快，22×73mm在1.2μm精度下只需不到一分钟的时间
图像系统 768 x 572像素CCD照相机
电子组件 内置基于Pentium芯片的控制器，带Matrox Meteor II 抓图器； 内置Linux操作系统；通过专用100M以太网与主机相连
电源 电压：100 – 240 VAC, 50/60Hz *大电流: 10 A
