技术参数
原理：PCSA配置的自动回零（Auto-Nulling）图像椭圆光度法
椭圆光度分辨率：Delta/Psi精度 0.001 deg **精度 0.01 deg
立体分辨率：1-35μm（平面解析精度：1μm，纵向解析精度：1 nm）
激光器波长:532 nm(可选405/488/514/543/594/633/650/690/785/830/905nm)
灵敏度:0.05~0.2nm
解析时间:快，22×73mm在1.2μm精度下只需不到一分钟的时间
图像系统:768 x 572像素CCD照相机
电子组件:
内置基于Pentium芯片的控制器
带Matrox Meteor II 抓图器
内置Linux操作系统
电源:电压100-240 VAC, 50/60Hz *大电流10 A
