产品描述:
? 世界级高精度XY 测量精度为(0.9+3L/1000)μm。
? 可选择LAF (激光自动对焦) 功能。
? 良好的操作性能和重复精度。
? 三轴电动控制。
? 标配电动自动聚焦装置。
