半导体/FPD检查显微镜 MX61L/MX61

编辑日期：2026-04-14

MX61L/ MX61, 300mm/200 mm半导体检查显微镜通过各种观察方法--明视场法、暗视场法、微分干涉法（DIC）、荧光法、红外线法和深紫外线法，保证了**的图像分辨率和鲜明度。

为用户提供*高的效率

满足客户需求是奥林巴斯的**要务。

正是牢记这一点，奥林巴斯所提供的显微镜解决方案让工业检查变得更轻松、更便捷、更**。同时，当将显微镜成功集成应用到生产线上，操作舒适性等人体工程学问题与晶圆**问题就显得尤为重要，我们注重解决此类问题。奥林巴斯始终为半导体晶圆、平板显示器和电子设备等在内的多个行业，提供新构思、解决方案和技术支持。

MX61

半导体晶圆检查显微镜（*大200mm)，这款显微镜的孔径光阑与物镜相互联锁，能够快速、精确地完成检查。设计符合人体工程学原理，使用起来舒适、自如。符合SEMI S2/S8，拥有**性与可靠性双重保障。（来源：成贯仪器）

MX61L

这款显微镜用于检查大尺寸样品，例如300mm的半导体晶圆或17英寸的平板显示器。采用了离合器驱动的手动XY载物台，在反射光照明模式下，操作员可在356mm x 305mm的范围内移动载物台；在透射光照明模式下，操作员可在356mmx 284mm的范围内移动载物台。

MX61系列——半导体晶圆与平板显示器检查显微镜

专为无尘室生产环境设计

拥有多项专门设计的性能，以符合无尘室要求

所有电动部件均被封闭在一个屏蔽结构内，而且制造材料均具有出色的耐磨性，能够完全满足无尘室要求。 MX61系列显微镜*大可检查尺寸为200mm的晶圆，而MX61L*大则可检查300mm的晶圆，两款具有同样小的占地空间，可减少空间分配需求。

防静电保护功能，防止晶圆污染

显微镜机身、镜筒、呼吸罩及其他部件全部采用防静电工艺加工而成，以防止污染晶圆。

防静电呼吸罩

符合SEMI S2/S8，确保**性和可靠性

MX61系列显微镜完全符合SEMI S2/S8、CE和UL等多项国际规范和标准。

多种晶圆托架，易于调节，可适合不同尺寸的样品

晶圆托架和玻璃台板有150-200mm和200-300mm*1多种规格可供用户选择。若生产线所加工晶圆的尺寸发生变化，仅需以极低的成本改造机身框架即可。MX61系列显微镜有多款载物台可以选用，以对生产线上生产的75mm、100mm、125mm和150mm的晶圆进行检查。

晶圆托架和玻璃台板

晶圆装卸**、快速，有效提高产能*2

MX61显微镜可搭载选配的晶圆自动搬送机，以将硅晶圆和化合物半导体晶圆从晶圆匣搬送**显微镜载物台，无需再使用镊子夹持。**公认的出色性能和可靠性，能够**、**地对晶圆正面和背面进行宏观检查和微观检查，可有效提高工厂的产量和生产率。而且这款显微镜的设计符合人体工程学原理，使用起来舒适、便捷。（来源：成贯仪器）

MX61与AL120型晶圆搬送机(200mm 型)*3结合使用

MX61 系列——符合人体工程学的设计

使用起来方便、舒适、**

控制器设计符合人体工程学原理，使用起来更便捷、更舒适

物镜转换和AS（孔径光阑）调节按钮均位于显微镜的前下方。这种设计不仅使用起来更加方便、舒适，而且用户在使用时，无需让手松开调焦旋钮或将眼睛离开目镜。

在中间位置操作显微镜

通过自动化孔径控制，优化对比度

电动孔径光阑与物镜联锁，可根据所使用的物镜自动调节。这样，在各个放大倍率下均可得到*优化的成像质量，使得在常规检查中眼睛感觉更加舒适，工作效率更高。

电动孔径光阑

离合器驱动式手动XY载物台

奥林巴斯半导体/FPD检查显微镜MX61L/MX61有两款高精度载物台可供选用：一款适合尺寸不超过300mm的晶圆和17英寸的面板；另一款适合尺寸不超过200mm的晶圆。手动XY载物台通过内嵌的离合器机构和XY调节手柄，可粗调和微调载物台位置。使用离合装置，操作员可在观察中自由移动载物台，提高整体效率。这样，可在使用目镜观察的过程中，不受限制地移动载物台，使得观察速度更快，操作更舒适。

通过内嵌离合装置，快速操作载物台手柄

电动式物镜转盘提高观察速度

电动式物镜转盘比手动式物镜速度更快、更**，可在满足无尘室要求的同时，缩短检查所需时间。奥林巴斯根据您所需的检查方法，为您提供了三种控制方法，通过软件控制、机身按钮控制或通过独立的手持控制器控制。（来源：成贯仪器）

电动物镜转盘

灵活的观察姿势

不断调节椅子高度进行观察和不自然的观察姿势是导致工作速度减慢的诸多不便因素中的两种。 考虑到这一点，MX61系列显微镜采用了可调倾斜角度式观察筒，镜筒可在0°** 42°范围内调节（可调高度：150 mm）。 这样，不管身高如何，操作员都可找到自己*舒适的姿势，而且可以站着观察。此外，光轴与目镜之间有足够长的距离，即使是大规格载物台，也可轻松操作。（来源：成贯仪器）

可调倾角式三目镜筒，工作时姿势更舒适

易于切换不同的观察方法

MX61/MX61L系列显微镜的明视场和暗视场观察模式可通过一个拉杆快速切换，同时还带有一个选配的分光镜组件。此外，MPLFLN-明视场和暗视场系列物镜在DIC观察下，无需进行棱镜位置切换。透射光照明单元可加装到这两款显微镜的机身，以能够在FPD检查所需的透射照明中，进行偏振光观察。（来源：成贯仪器）

易于切换不同的观察方法

MX61 系列显微镜——优异的成像清晰度与高分辨率

光学元件专门针对您的特定用途设计

先进的光学性能，满足缺陷检测需求

奥林巴斯先进的UIS2光学系统可为常规检查提供高衬度的明视场图像，此外，在暗视场观察中，能够快速发现之前明视场检查中可能被忽略的细小划痕。

明视场图像                      暗视场图像

可针对样品不同表面状态的各种微分干涉观察法，提高缺陷检查效果

操作人员可根据样品的表面不平整度和反光特性，选择三种不同的DIC棱镜，即标准棱镜、高分辨率棱镜和高对比度棱镜。因此，得到的图像可具有*佳的对比度和分辨率，大大提高缺陷检测能力。

标准DIC                         高对比度DIC

(硬盘表面)

同时使用反射照明和透射照明

在光掩膜或FPD检查时，透射光可加入通用型聚光镜或高数值孔径聚光镜。这两种方法都支持简易偏振光法。此外，可同时使用反射光照明和透射光照明系统，且两者的照明强度可以独立调节。这种组合非常适合检查半透明的器件。

LCD面板/透射光图像

专用物镜

奥林巴斯有两个系列的物镜（LMPLFLN系列和SLMPLN系列）适合焦面与物镜之间需保持较大距离的观测情况，通常适合观测高度形状不规则、结构精密的样品。此外，奥林巴斯还可为您提供用于各种专业用途的物镜，例如，LCD检查物镜（LCPLFLN-LCD系列）。

LCPLFLN-LCD系列物镜

荧光观察

MX61系列显微镜通过加载分光镜组件和高强度光源，还可进行荧光观察。 荧光观察是检查各种光刻残留物和有机颗粒的理想方法。（来源：成贯仪器）

晶圆上的颗粒

近红外（IR）观察

奥林巴斯的专用物镜可对硅和玻璃表面下方的特性和缺陷进行近红外(IR)成像。半导体和光伏行业采用这种近红外成像功能，可进行对准检查、表面下方的污染物鉴别及进行关键尺寸检查。这些物镜具有更高的数值孔径，能够提高近红外图像的分辨率和亮度。此外，20x、50x和100x 物镜设计有一个校正环，能够校正硅片和玻璃厚度导致的像差，提高整体对比度。（LMPLN-IR系列和LCPLN-IR系列）（来源：成贯仪器）

从晶圆背面观察焊盘

软件方案

实现数字成像

奥林巴斯半导体/FPD检查显微镜MX61L配备了PC界面，可以读取显微镜的电动功能。因此，捕获影像时可以自动保存物镜倍率，为日后处理和分析影像提供可靠的影像信息。

使用数码照相机记录和保存数码影像

三目镜筒可以安装数码照相机。可以保存和记录数码影像，帮助创建观察报告。可依据用途从图像质量、功能、使用方便性等方面选择数码照相机。