特点 ? 采用高精度气浮轴承线性导轨系统，从而将直线度误差减少到*小。 ? 采用分辨率为0.01mm 的玻璃光栅尺，此玻璃光栅尺由位于地下11 米处的高精密工 厂制造。 ? 通过使用虚拟零度热膨胀的玻璃光栅尺，将温度变化对精度的影响减少到*低。 ? 使用有限元方法(Finite Element Method) 分析优化主机的机械结构。 ? 稳定的几何精度(如：每个轴的直线度和垂直度) 以降低热效应影响。
