Micro-Vu 影像测量系统
Spectra 投影仪
型号 Spectra Bench Optical Spectra Floor Optical
量测行程 30015075mm 30015075mm
XY 精度 Ux=2.5+L/25μm ，Uy=2.5+L/15μm
Z 精度 U=2.5 μm
XY 重现性 12.5μm
Z 重现性 7.5μm
Micro-vu Sol半自动影像仪
量测行程 160160160mm
XY 精度 U=(2.8+L/150)μm
Z 精度 U=(2.8+L/100)μm
XY 重现性 U=2.8μm
Micro-vu Vertex 系列全自动影像仪
型号 Vertex251 Vertex12x12
XY 精度 Uxy=2.0+L/250 Uxy=2.6+L/175
Z 精度 Ux=2.5+L/150 Ux=3.0+L/150
XY 重现性 2.0μm 2.5μm
Z 重现性 2.0μm 2.0μm
Excel 500
型号 501 UM / 501 UC 502 UM / 502 UC
量测行程 400 x 500 x 160 mm 400 x 500 x 250 mm
XY 精度 2.5 + L/200 2.8 + L/200
Z 精度 2.5 + L/100 3.0 + L/100
Micro-vu Excel 650
型号 Excel651UM Excel651UC Excel652UM Excel652UC Excel654UM Excel654UC
测量行程 650650160mm 650650250mm 650650400mm
XY 精度 Uxy=2.5+L/300μm Uxy=2.8+L/300μm Uxy=3.2+L/300μm
Z 精度 Ux=2.5+L/150μm Ux=3.0+L/150μm Ux=3.5+L/150μm
XY 重现性 2.5μm 2.8μm 3.2μm
Z 重现性 2.5μm 3.0μm 3.5μm
Micro-vu Excel 1050
型号 Excel 1051 UM/UC Excel 1052 UM/UC Excel 1054 UM/UC
量测行程 1050 x 1050 x 160mm 1050 x 1050 x 250mm 1050 x 1050 x 400mm
外形尺寸 1720 x 2000 x 1650mm 1720 x 2000 x 1850mm 1720 x 2000 x 2000mm
重量 2700kg 2750kg 2850kg
光学尺分辨率 0.1μm
XY 精度,E2 3.3 + L/300 3.6 + L/300 4.3 + L/200
Z 精度,E1 2.8 + L/100 3.3 + L/100 3.8 + L/100
Micro-vu Excel 系列全自动影像仪
Excel 1600
型号 Excel 1601 UM/UC Excel 1602 UM/UC Excel 1604 UM/UC
量测行程 1050 x 1650 x 160mm 1050 x 1650 x 250mm 1050 x 1650 x 400mm
外形尺寸 1720 x 2600 x 1650mm 1720 x 2600 x 1850mm 1720 x 2600 x 2000mm
重量 3450kg 3500kg 3600kg
光学尺分辨率 0.1μm
XY 精度,E2 3.3 + L/300 3.6 + L/300 4.3 + L/200
Z 精度,E1 2.8 + L/100 3.3 + L/100 3.8 + L/100
Excel 1650/1200/1250
型号 Excel1651UM/UC Excel1652UM/UC Excel200U Excel250U
量测行程 12501650160mm 12501650250mm 20001250200mm 25001600200mm
XY 精度 4.0+L/300μm 4.05+L/300μm [5.5+L(mm)/300]μm [5.5+L(mm)/300]μm
Z 精度 2.8+L/150μm 3.0+L/150μm 3.0+L/150μm 3.0+L/150μm
