技术参数(机械部分)：
1. XY扫描器：100μm×100μm（闭环），可选配200μm×200 μm
2. Z扫描器：12μm (可选配25μm)
3. 水平度：50μm线扫描垂直偏差不超过2nm
4. XY和Z扫描器的正交性：1.0°
5. 样品台移动范围：200mm×200mm（X/Y），27.5mm (Z)
6. 样品尺寸：200mm×200mm
7. 光学观察：垂直光路设计，可直接观察微悬臂和样品
技术参数(电子部分)
1. 微处理器：600MHz，4800MIPS DSP
2. 模数/数模：16位，500kHz采样频率
3. 图像采集：同步自动采集16幅图像，分辨率高达4096×4096像素
4. 通讯方式：采用基于TCP/IP协议的通讯方式与计算机联接
5. 符合CE认证标准
标准工作模式：
. 真正非接触模式(True non-contact mode)
. 接触模式(contact mode)
. 相位模式(phase imaging)
. 横向力模式(LFM)
扩展工作模式：
. 力测量（Force measurements）
. 导电（Conductive AFM）
. 电力（Electric Force）
. 电子 (Electrical)
. 磁性 (Magnetical)
. 机械 (Mechanical)
. 热 (Thermal)
