技术参数（机械部分）
XY扫描器：100μm×100μm（闭环），可选配200μm×200μm（闭环）
Z扫描器：12μm (可选配25μm)
水平度：100μm线扫描垂直偏差不超过±2nm
XY和Z扫描器的正交性：1.0°
样品台移动范围：25mm×25mm（X/Y），27.5mm (Z)
样品尺寸：100mm×100mm
光学观察：垂直光路设计，可直接观察微悬臂和样品
技术参数（电子部分）
微处理器：600MHz，4800MIPS DSP
模数/数模：16bit，500kHz采样频率
图像采集：同步自动采集16幅图像，分辨率高达4096×4096像素
通讯方式：采用基于TCP/IP协议的通讯方式与计算机联接
符合CE认证标准
